Radialer Äusserer Kissenentwurf für eine Elektrostatische Einspannvorrichtungsoberfläche

EP3254307 Art B1 2. März 2022

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3254307
Aktenzeichen: EP16746928
Anmeldetag: 6. Januar 2016
Veröffentlichung: 2. März 2022
Erteilung: 2. März 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H02N13/00C23C14/50H01L21/67H01L21/683H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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