Verfahren zur Bildung eines Vertikalen Hetero-Stapels und Vorrichtung mit einem Vertikalen Hetero-Stapel

EP3255656 Art B1 26. August 2020

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3255656
Aktenzeichen: EP16173384
Anmeldetag: 7. Juni 2016
Veröffentlichung: 26. August 2020
Erteilung: 26. August 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/36

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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