Verarbeitungswerkzeugüberwachung

EP3256922 Art B1 28. Juli 2021

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3256922
Aktenzeichen
EP16701072
Anmeldetag
13. Januar 2016
Veröffentlichung
28. Juli 2021
Erteilung
28. Juli 2021
Rechtsraum
EP
IPC
G05B23/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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