Beschichtungen zur Verbesserung der Eigenschaften und Leistung von Substratartikeln und Vorrichtung
EP3257070
Art A1
20. Dezember 2017
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3257070
- Aktenzeichen
- EP16750039
- Anmeldetag
- 13. Februar 2016
- Veröffentlichung
- 20. Dezember 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/56H01L21/205C23C16/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Glansdorp, Freija Gwendolyn
Cheddar, Großbritannien
98
Patente gesamt
23
Fachgebiete
6
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar