Verfahren zum Betreiben eines Vibrationssensors

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3257592

Aktenzeichen

EP16174847

Anmeldetag

16. Juni 2016

Veröffentlichung

5. September 2018

Erteilung

5. September 2018

Rechtsraum

EP

IPC

B06B1/06G01F23/296G10K9/125

Abstract

Vibrationssensor (100) mit einer über einen piezoelektrischen Antrieb (2) in Schwingung versetzbaren Membran (3), die in unbelastetem Zustand eine Ruhelage (L 0 ) aufweist, wobei der Antrieb (2) wenigstens einen ersten Teilantrieb (16) umfasst, der derart mit der Membran (3) gekoppelt ist, dass er bei Anregung auf diese drückt und wenigstens einen zweiten Teilantrieb (36) umfasst, der derart mit der Membran (3) gekoppelt ist, dass er bei Anregung an dieser zieht, wobei der erste Teilantrieb (16) und der zweite Teilantrieb (36) an gegenüberliegenden Seiten eines Zwischenstücks (31) abgestützt sind und über einen mit der Membran (3) fest verbundenen Antriebssitz (5) auf die Membran (3) wirken.

Anmelder

Firma

VEGA Grieshaber KG

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete