Bildrekonstruktionsverfahren für Röntgenstrahlenmessvorrichtung, Verfahren zur Herstellung einer Struktur, Bildrekonstruktionsprogramm für die Röntgenstrahlenmessvorrichtung und Röntgenstrahlenmessvorrichtung

EP3258251 Art B1 24. März 2021

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3258251
Aktenzeichen: EP15881910
Anmeldetag: 9. Februar 2015
Veröffentlichung: 24. März 2021
Erteilung: 24. März 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G01N23/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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