Verfahren zum Polieren eines Siliciumwafers und Oberflächenbehandlungszusammensetzung

EP3258483 Art A1 20. Dezember 2017

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3258483
Aktenzeichen: EP16748863
Anmeldetag: 22. Januar 2016
Veröffentlichung: 20. Dezember 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/306H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujimi Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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