Zusammensetzung für Siliciumwafer-Polierung und Polierverfahren

EP3261114 Art B1 13. Januar 2021

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3261114
Aktenzeichen: EP16752069
Anmeldetag: 22. Januar 2016
Veröffentlichung: 13. Januar 2021
Erteilung: 13. Januar 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/304C09K3/14B24B37/00B24B37/04H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Fujimi Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

511 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von