Polierverfahren und Polierzusammensetzung
EP3263277
Art B1
7. Dezember 2022
Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3263277
- Aktenzeichen
- EP17001211
- Anmeldetag
- 30. Oktober 2015
- Veröffentlichung
- 7. Dezember 2022
- Erteilung
- 7. Dezember 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B37/04H01L21/304C09K3/14C09G1/02H01L21/02H01L29/16
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Fujimi Incorporated
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujimi
Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.
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