Vakuumbeschichtungskammer und Verfahren zur Makropartikelfilterierung Während Lichtbogenkathodenverdampfung

EP3263737 Art B1 12. Juni 2019

Anmelder: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3263737
Aktenzeichen: EP16001452
Anmeldetag: 29. Juni 2016
Veröffentlichung: 12. Juni 2019
Erteilung: 12. Juni 2019
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/32H01J37/32H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon
Land: 🇨🇭 Schweiz

🇨🇭 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon

Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon ist eine Schweizer Gesellschaft der Oerlikon-Gruppe für Oberflächen- und Beschichtungstechnologien. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Werkzeugtechnik. Die Titel betreffen unter anderem Arc-Beschichtungsquellen und hochleistungsbeschichtete Werkzeuge.

286 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von