Adapter und Vakuumpumpe

EP3263905 Art A1 3. Januar 2018

Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3263905
Aktenzeichen
EP16755081
Anmeldetag
19. Januar 2016
Veröffentlichung
3. Januar 2018
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04F04D29/64F04D29/52// F04D29/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Japan Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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