Messvorrichtung, Lithografiesystem, Belichtungsapparat, Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung, Steuerungsverfahren sowie Überlagerungsmessverfahren

EP3264179 Art B1 27. Dezember 2023

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3264179
Aktenzeichen: EP16755436
Anmeldetag: 23. Februar 2016
Veröffentlichung: 27. Dezember 2023
Erteilung: 27. Dezember 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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