Optisches Projektionssystem, Belichtungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements
EP3264444
Art A1
3. Januar 2018
Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3264444
- Aktenzeichen
- EP17180354
- Anmeldetag
- 15. Februar 2007
- Veröffentlichung
- 3. Januar 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027G02B13/14G02B13/24G02B17/06G03F7/20G02B5/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Nikon Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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Kanzlei
Arnold & Siedsma
Den Haag, Niederlande
Arnold & Siedsma wurde 1920 gegründet und liegt im Haager Büro in Laufnähe zum Benelux-Amt für geistiges Eigentum. Mit Standorten in den Niederlanden, Belgien, München und London stützt sie sich auf ein weltweites Agentennetzwerk.
12.048
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Patentanwälte
2
Standorte
Weitere Vertreter
-
Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München