Mikrowellenplasmabehandlungsvorrichtung
EP3264866
Art A1
3. Januar 2018
Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3264866
- Aktenzeichen
- EP16755415
- Anmeldetag
- 22. Februar 2016
- Veröffentlichung
- 3. Januar 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H05H1/24B01J19/08C23C16/455C23C16/511C23C16/513H05H1/46
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.
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Vertreten von
Graf von Stosch, Andreas
München, Deutschland
1.079
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24
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