Verbindung, Harz, Material zur Bildung eines Unterschichtfilms für die Lithografie, Unterschichtfilm für die Lithografie, Strukturbildungsverfahren und Verfahren zur Reinigung einer Verbindung oder eines Harzes

EP3266759 Art B1 13. September 2023

Anmelder: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3266759
Aktenzeichen
EP16761605
Anmeldetag
2. März 2016
Veröffentlichung
13. September 2023
Erteilung
13. September 2023
Rechtsraum
EP
IPC
C07C39/15C07C37/20C07C37/72C08G8/04C08G8/20G03F7/11G03F7/039G03F7/09C09D161/12// C08G8/02H01L21/308
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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