Messungsverarbeitungsvorrichtung, Röntgeninspektionsverfahren, Messungsverarbeitungsverfahren, Messungsverarbeitungsprogramm und Strukturherstellungsverfahren

EP3267183 Art B1 5. April 2023

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3267183
Aktenzeichen: EP15883924
Anmeldetag: 3. März 2015
Veröffentlichung: 5. April 2023
Erteilung: 5. April 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G01N23/046G01B15/02G01B15/04G06T7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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