Kohlenstoffdotierungsgas und Co-Flow zur Optimierung der Implantatstrahl- und Quellenlebensdauerleistung

EP3267470 Art A3 18. April 2018

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

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🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von

Bumke, Jakob Wenzel Cheddar, Großbritannien

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Fachgebiete

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Schwerpunkte

Kunststoff- & Polymertechnik Organische Chemie Verfahrens- & Trenntechnik Medizintechnik & Gesundheit Verpackungs- & Fördertechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe

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