Spiegelplatte für ein Fabry-Perot-Interferometer und Fabry-Perot-Interferometer

EP3268708 Art B1 29. April 2020

Anmelder: Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy 🇫🇮

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3268708
Aktenzeichen: EP16761146
Anmeldetag: 8. März 2016
Veröffentlichung: 29. April 2020
Erteilung: 29. April 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G01J3/26G01J3/45G02B5/08G02B5/28G02B26/00G01B9/02B81B7/00G01J1/04H01L21/20H01L21/02G01J3/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Land: 🇫🇮 Finnland

🇫🇮 VTT Technical Research Centre of Finland

VTT ist eine staatliche finnische Forschungseinrichtung mit Sitz in Espoo, die angewandte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Technik, Energie und Materialwissenschaften betreibt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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