Vorrichtung und Verfahren zur Wafertrocknung

EP3268986 Art B1 22. April 2020

Anmelder: MEI Wet Processing Systems & Services LLC, MEI, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3268986
Aktenzeichen
EP16762191
Anmeldetag
3. März 2016
Veröffentlichung
22. April 2020
Erteilung
22. April 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/67H01L21/02H01L21/027H01L21/677F26B3/04F26B5/00F26B15/08F26B21/14
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
MEI Wet Processing Systems & Services LLC
MEI, LLC
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
Vertreten von
Tyson, Robin Edward London, Großbritannien
187
Patente gesamt
24
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Nachrichtentechnik & Telekommunikation Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Medizintechnik & Gesundheit
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