Mit Fluorkondensierten Filmen Beschichtete Artikel

EP3271494 Art A1 24. Januar 2018

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3271494
Aktenzeichen
EP15790711
Anmeldetag
30. September 2015
Veröffentlichung
24. Januar 2018
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/08C23C14/58H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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