Verfahren zur Herstellung von Drehbaren Sputtertargets

EP3271495 Art B1 17. April 2019

Anmelder: Vital Thin Film Materials (Guangdong) Co., Ltd., Umicore 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3271495
Aktenzeichen: EP16711575
Anmeldetag: 17. März 2016
Veröffentlichung: 17. April 2019
Erteilung: 17. April 2019
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Vital Thin Film Materials (Guangdong) Co., Ltd.
Umicore
Land: 🇨🇳 China

🇩🇪 Umicore

Belgisches Materialtechnologie- und Recyclingunternehmen mit deutschem Verwaltungssitz, spezialisiert auf Edelmetalle, Katalysatoren und Batteriematerialien.

1.302 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von