Verfahren zur Herstellung von Drehbaren Sputtertargets
EP3271495
Art B1
17. April 2019
Anmelder: Vital Thin Film Materials (Guangdong) Co., Ltd., Umicore 🇨🇳
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3271495
- Aktenzeichen
- EP16711575
- Anmeldetag
- 17. März 2016
- Veröffentlichung
- 17. April 2019
- Erteilung
- 17. April 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/34H01J37/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Vital Thin Film Materials (Guangdong) Co., Ltd.
Umicore - Land
- 🇨🇳 China
Vertreten von
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ABYOO
ABYOO · Louvain-La-Neuve
-
ABYOO SPRL
ABYOO SPRL · Louvain-La-Neuve
- Umicore RDI Patent Department