Messanordnung zur Messung einer Abscheidungsgeschwindigkeit und Verfahren dafür

EP3274701 Art A1 31. Januar 2018

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3274701
Aktenzeichen: EP15767462
Anmeldetag: 21. September 2015
Veröffentlichung: 31. Januar 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G01N29/02C23C14/54G01N29/24H01L41/113

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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