Kammerkomponenten für eine Epitaktische Wachstumsvorrichtung

EP3275008 Art B1 23. Februar 2022

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3275008
Aktenzeichen: EP16769448
Anmeldetag: 18. März 2016
Veröffentlichung: 23. Februar 2022
Erteilung: 23. Februar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/20C23C16/455H01L21/687H01L21/683H01L21/67C30B25/14C30B25/12C30B25/08C30B29/06C23C16/48C23C16/458H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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