Mikroskopvorrichtung, Betrachtungsverfahren und Steuerungsprogramm

EP3276335 Art B1 9. Juni 2021

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3276335
Aktenzeichen: EP15887499
Anmeldetag: 27. März 2015
Veröffentlichung: 9. Juni 2021
Erteilung: 9. Juni 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/64G02B21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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