Fluidvorrichtung, -System und -Verfahren

EP3276357 Art B1 20. Januar 2021

Anmelder: The University of Tokyo, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3276357
Aktenzeichen: EP16768909
Anmeldetag: 24. März 2016
Veröffentlichung: 20. Januar 2021
Erteilung: 20. Januar 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G01N35/02G01N35/08G01N37/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: The University of Tokyo
Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 University of Tokyo

Japanische Universität mit Sitz in Tokio, eine der führenden Forschungsuniversitäten Asiens. Die Universität ist in nahezu allen wissenschaftlichen und technischen Disziplinen aktiv, darunter Materialwissenschaften, Elektrotechnik, Biotechnologie und Medizin.

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🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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