Verbindung, Harz und Verfahren zur Reinigung Davon, Unterschichtfilmbildungsmaterial für Lithographie, Unterschichtfilmbildungszusammensetzung sowie Unterschichtfilm und Verfahren zur Bildung eines Resistmusters und Verfahren zur Bildung eines Schaltungsmusters

EP3279179 Art B1 18. Dezember 2019

Anmelder: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3279179
Aktenzeichen: EP16772340
Anmeldetag: 17. März 2016
Veröffentlichung: 18. Dezember 2019
Erteilung: 18. Dezember 2019
Rechtsraum: EP
IPC: C07C39/367C07C37/72C07C41/38C07C43/23C08G8/20G03F7/11H01L21/027C08F32/08C08K5/00C08K5/07C08K5/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik Organische Chemie

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