Verderbliches Element zur Partikelbombardierung, Set aus Vorrichtungen zur Partikelbombardierung und Verderbliches Element und Verfahren zur Bestimmung des Ätzmusters über Partikelbombardierung eines Ziels

EP3279365 Art A1 7. Februar 2018

Anmelder: Advanced Nanotechonologies, S.L., Universitat de Barcelona 🇪🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3279365
Aktenzeichen: EP16771450
Anmeldetag: 30. März 2016
Veröffentlichung: 7. Februar 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34H01J37/34

Offizieller Volltext

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Anmelder

Firmen: Advanced Nanotechonologies, S.L.
Universitat de Barcelona
Land: 🇪🇸 Spanien

🇪🇸 Universitat de Barcelona

Die Universitat de Barcelona ist eine spanische Universität mit breitem naturwissenschaftlichem und medizinischem Forschungsprofil. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik, organische Chemie und Pharma/Biotechnologie, ergänzt durch Messtechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2009 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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