Verbindung, Resistzusammensetzung und Verfahren zur Formung von Resistmustern unter Verwendung Dieser Resistzusammensetzung

EP3279727 Art B1 9. Juni 2021

Anmelder: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3279727
Aktenzeichen: EP16772052
Anmeldetag: 2. März 2016
Veröffentlichung: 9. Juni 2021
Erteilung: 9. Juni 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/004C07D311/78G03F7/039G03F7/20G03F7/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Organische Chemie

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