Verfahren und Vorrichtung zur Gewinnung Diagnostischer Informationen, Verfahren und Vorrichtung zur Steuerung eines Industrieprozesses
EP3279737
Art A1
7. Februar 2018
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3279737
- Aktenzeichen
- EP16183008
- Anmeldetag
- 5. August 2016
- Veröffentlichung
- 7. Februar 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20H01L21/66G06K9/62
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Peters, John Antoine
Veldhoven, Niederlande
167
Patente gesamt
11
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte