Sol-Gel-Basierte Druckbare und Parasitär-Diffusionshemmende Dotiermedien zur Lokalen Dotierung von Siliziumwafern

EP3284110 Art A1 21. Februar 2018

Anmelder: Merck Patent GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3284110
Aktenzeichen: EP16711776
Anmeldetag: 24. März 2016
Veröffentlichung: 21. Februar 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L31/18C04B35/10C30B31/04H01L21/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Merck Patent GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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