Reinigungsverfahren für Entfernung von Kohlenstoffhaltigem Siliciumoxid für Waferrecycling

EP3285285 Art B1 2. März 2022

Anmelder: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3285285
Aktenzeichen: EP16779975
Anmeldetag: 8. April 2016
Veröffentlichung: 2. März 2022
Erteilung: 2. März 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/311

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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