Atomlagenabscheidungskammer mit Trichterförmigem Gasdispersionskanal und Gasverteilungsplatte

EP3286352 Art B1 18. Juni 2025

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3286352
Aktenzeichen: EP16783678
Anmeldetag: 19. April 2016
Veröffentlichung: 18. Juni 2025
Erteilung: 18. Juni 2025
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/44C23C16/452C23C16/455H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von