Verfahren zur Multiplexierten Probenanalyse durch Photoionisation von Sekundären Gesputterten Neutralen

EP3286360 Art A1 28. Februar 2018

Anmelder: The Board of Trustees of the Leland Stanford Junior University, The Board of Trustees of The Leland Stanford Junior University 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3286360
Aktenzeichen: EP16783768
Anmeldetag: 20. April 2016
Veröffentlichung: 28. Februar 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01J49/16H01J49/14H01J49/00G01N33/483G01N23/2258

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: The Board of Trustees of the Leland Stanford Junior University
The Board of Trustees of The Leland Stanford Junior University
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 The Board of Trustees of the Leland Stanford Junior University

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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