Wellenfrontkorrekturelement zur Verwendung in einem Optischen System
EP3286595
Art B1
26. Juni 2019
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3286595
- Aktenzeichen
- EP16712251
- Anmeldetag
- 10. März 2016
- Veröffentlichung
- 26. Juni 2019
- Erteilung
- 26. Juni 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B27/00G03F7/20G02B5/08G02F1/015G02B17/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Vertreten von
Frank, Hartmut
Mülheim a. d. Ruhr, Deutschland
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