Röntgenstrahlinspektionsvorrichtung, Röntgenstrahlinspektionsverfahren und Verfahren zur Herstellung einer Struktur

EP3287772 Art B1 12. April 2023

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3287772
Aktenzeichen: EP15889924
Anmeldetag: 24. April 2015
Veröffentlichung: 12. April 2023
Erteilung: 12. April 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G01N23/046G01B15/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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