Pellikelherstellungsverfahren und Verfahren zur Herstellung einer Photomaske mit Pellikel

EP3291006 Art A1 7. März 2018

Anmelder: Mitsui Chemicals, Inc., Tazmo Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3291006
Aktenzeichen: EP16786296
Anmeldetag: 11. April 2016
Veröffentlichung: 7. März 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/62G03F1/24B23K26/53B23K26/00B23K103/00B23K101/40C09J7/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Mitsui Chemicals, Inc.
Tazmo Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsui Chemicals

Mitsui Chemicals ist ein japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, der Basis- und Spezialchemikalien, Kunststoffe sowie Materialien für Elektronik und Mobilität herstellt. Das Unternehmen ging 1997 aus der Fusion mehrerer Mitsui-Chemieunternehmen hervor.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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