Layoutverfahren, Markierungserkennungsverfahren, Belichtungsverfahren, Messvorrichtung, Belichtungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung

EP3291011 Art B1 5. November 2025

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3291011
Aktenzeichen: EP16768934
Anmeldetag: 25. März 2016
Veröffentlichung: 5. November 2025
Erteilung: 5. November 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F9/00G03F7/20H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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