Verfahren und System zur Durchführung einer Fehlerdetektion in oder zur Charakterisierung einer Schicht eines Halbleiterelements oder Halbfertigen Halbleiterelements

EP3291286 Art A1 7. März 2018

Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3291286
Aktenzeichen: EP16186518
Anmeldetag: 31. August 2016
Veröffentlichung: 7. März 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/66G01N29/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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