Verfahren, Messonde und Mesvorrichtung zur Bestimmung von Plasmaeigenschaften

EP3292559 Art B1 7. August 2019

Anmelder: Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL) 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3292559
Aktenzeichen
EP16721773
Anmeldetag
3. Mai 2016
Veröffentlichung
7. August 2019
Erteilung
7. August 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32G01N27/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL)
Land
🇨🇭 Schweiz
🇨🇭 École Polytechnique Fédérale de Lausanne

Schweizer technische Hochschule und Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt auf Ingenieur- und Naturwissenschaften.

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