Puffertank und Kultursystem

EP3293252 Art A1 14. März 2018

Anmelder: Sinfonia Technology Co., Ltd., Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3293252
Aktenzeichen: EP17189060
Anmeldetag: 1. September 2017
Veröffentlichung: 14. März 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C12M1/00C12M1/26C12M1/02C12M1/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Sinfonia Technology Co., Ltd.
Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Pharma & Biotechnologie

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