Sputtertarget und Verfahren zur Herstellung davon

EP3293284 Art A1 14. März 2018

Anmelder: MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3293284
Aktenzeichen: EP17196167
Anmeldetag: 25. Februar 2014
Veröffentlichung: 14. März 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34B22F3/14B22F3/15C22C1/04C22C9/00C22F1/08C22C28/00C22F1/00C22F1/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von