Sequenzielles Integrationsverfahren

EP3293758 Art B1 28. Januar 2026

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3293758
Aktenzeichen: EP17190841
Anmeldetag: 13. September 2017
Veröffentlichung: 28. Januar 2026
Erteilung: 28. Januar 2026
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/768H10D84/08H10D88/00// H10D84/03

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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