Verfahren und Träger zum Halten von Substraten

EP3294921 Art B1 17. März 2021

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3294921
Aktenzeichen: EP15721244
Anmeldetag: 8. Mai 2015
Veröffentlichung: 17. März 2021
Erteilung: 17. März 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/50B23Q3/08C03C17/00B65G49/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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