Verfahren zur Herstellung eines Euv-Moduls, Euv-Modul und Euv-Lithografiesystem

EP3295248 Art A1 21. März 2018

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3295248
Aktenzeichen: EP16717626
Anmeldetag: 19. April 2016
Veröffentlichung: 21. März 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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