Verfahren zur Direkten Verbindung von Substraten Einschliesslich Verdünnung der Kanten von mindestens einem der Zwei Substrate

EP3295473 Art B1 19. Juni 2019

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3295473
Aktenzeichen: EP16726799
Anmeldetag: 10. Mai 2016
Veröffentlichung: 19. Juni 2019
Erteilung: 19. Juni 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/762H01L21/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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