Verfahren zum Ätzen und Kammerreinigung und ein Gas dafür
EP3298178
Art B1
24. Juli 2019
Anmelder: Solvay SA, Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung E.V. 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3298178
- Aktenzeichen
- EP16721153
- Anmeldetag
- 4. Mai 2016
- Veröffentlichung
- 24. Juli 2019
- Erteilung
- 24. Juli 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44C23F4/00B08B7/00H01J37/32// H01L21/311
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Solvay SA
Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung E.V. - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
Solvay
Belgischer Chemiekonzern mit Sitz in Brüssel, tätig in den Bereichen Spezialchemikalien, Materialien und Kunststoffe für Industrie und Konsumgüter. Das Unternehmen wurde 1863 gegründet.
1.433 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Mross, Stefan P.M
Bruxelles, Belgien
294
Patente gesamt
21
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Janßen, Christian Oliver
Kuraray Europe GmbH · Hattersheim