Messverfahren und Messanordnung für ein Abbildendes Optisches System

EP3298446 Art B1 2. Juli 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3298446
Aktenzeichen: EP16727302
Anmeldetag: 19. Mai 2016
Veröffentlichung: 2. Juli 2025
Erteilung: 2. Juli 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G02B7/00G01M11/02G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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