Positionssensorvorrichtung und Verfahren zum Ermitteln einer Position Zumindest eines Spiegels einer Lithographieanlage

EP3298459 Art B1 9. August 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3298459
Aktenzeichen: EP16722864
Anmeldetag: 10. Mai 2016
Veröffentlichung: 9. August 2023
Erteilung: 9. August 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G01B11/14G01D5/26G01D5/347G01B11/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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