Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung von Halbleiterwafern

EP3298622 Art B1 4. August 2021

Anmelder: ACM Research (Shanghai) Inc. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3298622
Aktenzeichen: EP15892190
Anmeldetag: 20. Mai 2015
Veröffentlichung: 4. August 2021
Erteilung: 4. August 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02B08B3/12B08B3/10H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ACM Research (Shanghai) Inc.
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 ACM Research (Shanghai)

ACM Research (Shanghai) ist die chinesische Tochtergesellschaft des US-notierten Halbleiterausrüsters ACM Research mit Sitz in Shanghai, der Reinigungs- und Beschichtungsanlagen für die Chipfertigung herstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Verfahrenstechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2007 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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