Gasverteilungssystem und Verfahren zur Gasverteilung

EP3298623 Art A1 28. März 2018

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3298623
Aktenzeichen: EP16797103
Anmeldetag: 16. Mai 2016
Veröffentlichung: 28. März 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L21/67H01L21/66H01L21/324F17C13/02F17C11/00F17C13/00F17C7/00F17C13/08

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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Vertreten von

Bumke, Jakob Wenzel Cheddar, Großbritannien

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